蒸镀仪-手套箱　　竞争性磋商公告

发布者：高海燕发布时间：2025-07-03

一、项目名称：蒸镀仪-手套箱

二、项目编号：S******

******管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　   传真：0512-******

联系人：丁老师　　　　　　电话：0512-******，******

电子邮箱：******

技术联系人：刘老师　　　　电话：0512-******，******

电子邮箱：******

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

蒸镀仪-手套箱　　1套

（一）主要技术性能指标要求

A蒸镀仪部分

1.底盘结构

1.1 采用型材搭建或焊接式框架，外观要求氧化处理或喷漆，防止生锈，配可以打开的磁吸柜门；

1.2底部带轮子，可灵活推动，并带有可调节高度的支脚；

1.3带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面；

1.4 电气控制集成在底盘上，与真空腔体一体。

2.基片架结构

2.1可以固定4片32mm×32 mm的基片；或4片25mm×25 mm基片；或16片20mm×15mm基片，并可在线切换2次掩膜板。

2.2另一种为插盘式结构，可搭载1片150mm×150mm基片，附带基片加热功能，加热范围：室温-200℃，向下兼容。

2.3电机驱动实现连续旋转，最大转速可达30转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接；

2.4 配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围150mm×150 mm；

2.5 腔体门板上安装有长条形观察窗，并附带挡板，通过磁流体打开与关闭。

3.蒸发源

3.1 十组舟源，七组有机源，三组金属源，用于材料蒸发，可蒸发常见有机材料，源与基片的垂直距离≥350mm；

3.2每个蒸发源电极均采用水冷式结构，可以长时间蒸镀；

3.3 每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动，打开方式：左右旋转；

3.4 源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染；

3.5 二台蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料，可实现两源共蒸。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。

4.自动化控制软件

4.1采用工控机控制模式，相关的操作均在工控机界面完成，显示器通过机械手臂固定在设备框架上；

4.2真空系统控制软件分为自动和手动模式，可以随时切换；

4.3带有一键自动蒸镀功能。

5.膜厚控制系统

5.1四个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于腔体四个角落；

5.2 晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性；

5.3 膜厚速率显示精度：±0.01?/S；

5．4 蒸镀速率，可蒸有机： 以BCP为标准，蒸镀速率： 速度稳定性：≤±10%(0.1-0.5?/s)，≤±5%(0.5-10?/s)，≤±4%(>10?/s)；单片内膜厚均匀性≤5%。

6.真空室

6.1 真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为450mm×450mm×600mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置；

6.2 真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨、滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭，后期也可以连接手套箱，在手套箱内部操作前门开关，确保整个工作环境处于氮气或惰性气体氛围中；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况；

6.3腔体极限真空优于3.5×10-5Pa，从常压到5×10-4Pa不超过15min（充氮气保护）；

6.4气动高真空插板阀，通径大于等于200mm；

6.5带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换；

6.6腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板；

7.真空系统

7.1 前级泵的抽速不低于30m3/h；

7.2 主泵采用抽速≥1300L/s的分子泵；

7.3 主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥200mm；

7.4 自动抽气控制，带安全互锁功能；

7.5 配有前级管路等相应的硬件；

7.6 真空室配真空计，测量范围为大气至10-5Pa。

8.前处理设备

8.1鼓风干燥箱，数量1台，体积80L，温度范围RT+10～250℃；

8.2圆形真空干燥器，数量1台，室温条件下真空度可以保持1Torr（133Pa）72小时以上，PC材质，一次性注塑成形，不使用粘合剂，具有良好的密封性，装有真空计量器。

8.3 立方体真空干燥器，数量1台，室温条件下真空度可以保持1Torr（133Pa）72小时以上，PC材质，一次性注塑成形，不使用粘合剂，具有良好的密封性，装有真空计量器；

8.4 抗化学腐蚀隔膜泵，数量1台，极限真空度不高于8mbar；最大流量不低于40L/min，泵头采用PTFE涂层耐化学腐蚀，干式运行无油雾污染；

8.5超声波清洗器，数量1台，体积10L，频率40kHz，带加热功能，可调功率；

8.6迷你涡旋混匀器，数量2台，采用按压式圆周偏心回转振荡，长宽高小于10cm，可外置电池组；

8.7 圆周式摇床，数量1台，配备可调托盘，LED显示屏，设有定时功能，1min～100h范围内任意设定，时间控制器可自动报警，可实现无人操作；

8.8 加热磁力搅拌器套装，数量1套，温度范围不小于：室温～340℃，转速范围不小于50rpm～1700rpm，加热盘面采用铝合金材质耐高温耐腐蚀，盘面尺寸不小于Φ138mm，具备自我诊断功能，内置两路温度传感器，具备超温保护功能，配置至少4套不同尺寸加热块。

9.随机耗材

9.1腔体内部内衬板及防污玻璃1套；

9.2晶振片，6MHz规格，2盒；

9.3配齐一套蒸发舟以及坩埚；

9.4真空吸笔一支；

9.5 Mask及配件2套。

B手套箱部分

1.技术指标要求

1.1 使用99.999%的惰性气源，空箱运转，箱内水氧含量均小于1ppm。

1.2 箱体泄漏率＜0.001%/h（即关闭循环氧含量上升速率＜2ppm/h）。

2.主要配置及具体要求

2.1箱体

2.1.1 四个不锈钢箱体，每个箱体内部尺寸为长度≤1200mm、深度≤750mm、高度≤900mm，箱体呈L型布置，箱体材质为SUS304不锈钢，厚度3mm；

2.1.2 四个视窗与箱体之间采用无泄漏双层密封技术，可以有效阻挡空气中的H2O、O2、N2分子扩散入手套箱和有毒分子扩散出手套箱，达到无泄漏效果（产品宣传册需有相关证明文件）；

2.1.3八个铝合金手套口（由实心棒材加工而成，原色氧化，不接受POM或铸铝材质的手套口，产品宣传册需有相关证明文件）；

2.1.4手套口与手套和视窗之间的密封使用无泄漏密封抽真空技术（产品宣传册需有相关证明文件）；

2.1.5四副原装丁基橡胶手套。制造商拥有手套箱手套在线检漏装置用于箱体及手套检漏；（需制造商提供相关技术证明文件）

2.1.6箱体背部预留多个KF40法兰孔；

2.1.7四个钢结构支架，高≥900mm，安装有万向脚轮，具有调平、移动、固定等功能。

2.2 过渡舱

2.2.1一个T型大过渡仓，直径≥360mm，长度≥800mm，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序；（此自动抽充功能需要提供证明文件）

2.2.2一个T型小过渡仓，法兰连接，直径≥150mm，长度≥800mm，小过渡舱门特别设计，易操作，不易损坏；

2.2.3两个小方仓，焊接在箱体左侧，尺寸：200mm×200mm×200mm，其中一个方舱可升级为加热仓（可抽真空并加热）；

2.2.4  一个便捷型小过渡仓，焊接在箱体右侧，直径≥150mm，长度≥300mm，小过渡舱门易操作，不易损坏。

2.3高效气体纯化系统（数量：两套）

2.3.1氧气的吸附量≥60升；水的吸附量≥2公斤；

2.3.2配有净化材料吸附饱和后可再生装置。（需要提供相应的证明文件）

2.3.3有机溶剂吸附柱：含活性炭颗粒吸附材料，放置在箱体内，吸附饱和后可便捷更换材料。

2.4控制系统（数量：两套）

2.4.1  控制系统由PLC和7”彩色触摸屏组成，用户友好的中英文操作界面；

2.4.2为节省能耗，循环风机功率小于60m3/h，无需增加变频器及冷水机。手套箱具有自动循环与手动循环两种模式，大部分时间能耗小于50W。（产品宣传册需有相关证明文件）

2.5验收技术指标

2.5.1 泄漏率﹤0.001%/h(即关闭循环氧含量上升速率2ppm/h，磋商文件需提供相关技术证明文件，其中泄漏率指标需提供国家级非地方性机构出具的测试认证报告，泄漏率检测结果同时适用于正压和负压状态下）；（此项作为最终验收指标，如若不符用户有权直接退货）

2.5.2 H2O﹤1ppm ，O2﹤1ppm。（PLC显示屏需显示实际水氧含量，显示屏上数值需精确到小数点后两位，而且水含量数值能在PLC显示屏上随时切换成箱体内实测露点值（需提供相关技术证明文件）。（此项作为最终验收指标，如若不符用户有权直接退货）

2.6标准配件

2.6.1 真空泵（数量：两台）：采用知名品牌；流量≥12m3/h，极限真空2×10-3毫巴，可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡；

2.6.2 氧分析仪（数量：两台）：采用知名品牌传感器，材质为电化学燃料电池，不接受氧化锆材质探头，量程：0～1000ppm。精度：0.2ppm或量程的1%（产品宣传册需有相关证明文件并提供校准报告）。氧分析仪需要自带数显功能（需有相关技术证明文件）；

2.6.3 水分析仪/露点仪（数量：两台）：采用知名品牌传感器，材质为氧化铝膜探测器，量程：-100℃～20℃（露点）或者 量程：0～23000ppm，精度：2℃（产品宣传册需有相关证明文件并提供校准报告）；

2.6.4温控系统（数量：一套） ，安装于箱体顶部，控制箱内温度18℃～25℃；

2.6.5 箱体内部设计安装一个遮挡帘。

2.7其他配件

2.7.1国产钢瓶减压阀四个

2.7.2原装进口丁基橡胶手套四只

2.7.3箱内电源线三根

2.7.4真空单管双阀两根

2.7.5显示器支架一个

2.7.6 两根5米长的清洗阀外接钢丝软管（直径32mm、16mm）

2.7.7手套箱备用工具一套、电子档说明书一份

（三）质保期不少于1年（验收合格后起算）。

五、评分标准

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足磋商公告要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经磋商小组评审可作为无效响应文件。

（2）所提供产品不满足磋商公告要求（偏离）、配置不详、技术参数不明确、缺漏项的，每处扣1分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件中技术要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（6分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（9分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况、使用所提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．综合实力（3分）

根据供应商综合实力评定。

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）。

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它优惠措施等（2分）

根据供应商提供的在磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、磋商响应报价应包括所报仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）具有独立承担民事责任的能力；

（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；

（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

（五）近三年内，在经营活动中没有重大违法记录；

（六）本项目不接受联合体报价。

八、磋商响应文件的组成

（一）磋商响应文件一般由下列材料组成（部分表格样式见附件1），复印件须加盖供应商公章，所有材料须按序装订成册：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表，原件）。

2. 磋商响应函（原件）。

3. 响应基本情况一览表（原件）。

4. 详细配置清单（原件）。

5. 技术规格偏离表（原件）。

6. 公司简介（包括公司资质、公司业绩、公司荣誉等，原件）。

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）。

（2）法定代表人授权书（原件）。

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）。

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）。

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）。

（6）仪器设备生产或经营企业许可证（复印件，特殊行业必须提供）。

（7）仪器设备销售代理授权证明（进口货物非生产制造厂商投标的，须按第2.2条要求提供，专项授权书提供原件、代理证书提供复印件）。

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）。

（9）近三年来与本次磋商仪器设备相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）。

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）。

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订并密封，并加盖投标单位公章。

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照******大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照******大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500元（相关缴纳事宜详见附件3），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读******大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2025年7月15日12：00前将报名函（格式见附件）发送邮件至采购人处（******）。

十二、递交磋商响应文件相关事宜：

（一）顺丰快递（建议优先采用）

1. 寄达时间：2025年7月18日14：00前；

2. 收件人信息：

　收件人：丁老师

　联系方式：******

　收件地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

（二）现场递交

1. 现场递交时间：2025年7月18日13：30～14：00

******大学东校区东大门

十三、递交磋商文件截止时间：2025年7月18日14：00。

十四、磋商时间：2025年7月18日14：00。

　　　磋商性公告附件.zip